سميسيرامجاذيف كربيد السيليكونتم تصميمها لتحقيق الحد الأدنى من التمدد الحراري، مما يوفر الاستقرار والدقة في العمليات التي تكون فيها دقة الأبعاد أمرًا بالغ الأهمية. وهذا يجعلها مثالية للتطبيقات حيثرقائقتخضع لدورات تسخين وتبريد متكررة، حيث يحافظ قارب الويفر على سلامته الهيكلية، مما يضمن الأداء المتسق.
دمج Semiceraمجاذيف نشر كربيد السيليكونفي خط الإنتاج الخاص بك سيعزز موثوقية العملية الخاصة بك، وذلك بفضل خصائصها الحرارية والكيميائية الفائقة. تعتبر هذه المجاذيف مثالية لعمليات النشر والأكسدة والتليين، مما يضمن التعامل مع الرقاقات بعناية ودقة طوال كل خطوة.
الابتكار هو جوهر أعمال Semiceraمجداف كربيد السيليكونتصميم. تم تصميم هذه المجاذيف لتتناسب بسلاسة مع معدات أشباه الموصلات الموجودة، مما يوفر كفاءة معالجة محسنة. لا يعمل الهيكل خفيف الوزن والتصميم المريح على تحسين نقل الرقاقات فحسب، بل يقلل أيضًا من وقت التوقف عن العمل، مما يؤدي إلى إنتاج مبسط.
| الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته | |
| ملكية | القيمة النموذجية |
| درجة حرارة العمل (درجة مئوية) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
| محتوى كربيد السيليكون | > 99.96% |
| محتوى سي مجاني | <0.1% |
| الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم33 |
| المسامية الظاهرة | < 16% |
| قوة الضغط | > 600 ميجا باسكال |
| قوة الانحناء الباردة | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
| قوة الانحناء الساخنة | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
| التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 10-6/ درجة مئوية |
| الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 23 واط/م•ك |
| معامل مرن | 240 جيجا |
| مقاومة الصدمات الحرارية | جيد للغاية |
