طلاء CVD SiC
تنضيد كربيد السيليكون (SiC).
يتم وضع الدرج الفوقي، الذي يحمل ركيزة SiC لزراعة الشريحة الفوقي من SiC، في غرفة التفاعل ويتصل مباشرة بالرقاقة.
الجزء العلوي على شكل نصف قمر هو حامل للملحقات الأخرى لغرفة التفاعل الخاصة بمعدات Sic epitaxy، في حين أن الجزء السفلي على شكل نصف القمر متصل بأنبوب الكوارتز، مما يقوم بإدخال الغاز لدفع قاعدة المستقبِل للتدوير.فهي يمكن التحكم في درجة حرارتها ويتم تركيبها في غرفة التفاعل دون الاتصال المباشر بالرقاقة.
سي نفوق
الدرج، الذي يحمل الركيزة Si لزراعة شريحة Si الفوقي، وضعت في غرفة التفاعل وتتصل مباشرة بالرقاقة.
توجد حلقة التسخين المسبق على الحلقة الخارجية لدرج الركيزة الفوقي Si وتستخدم للمعايرة والتدفئة.يتم وضعها في غرفة التفاعل ولا تتصل مباشرة بالرقاقة.
مُستقبل الفوقي، الذي يحمل الركيزة Si لزراعة شريحة Si الفوقي، يتم وضعه في غرفة التفاعل ويتصل مباشرة بالرقاقة.
يعد البرميل الفوقي مكونًا رئيسيًا يستخدم في عمليات تصنيع أشباه الموصلات المختلفة، ويستخدم بشكل عام في معدات MOCVD، مع ثبات حراري ممتاز، ومقاومة كيميائية ومقاومة للتآكل، ومناسب جدًا للاستخدام في عمليات درجات الحرارة العالية.إنه يتصل بالرقائق.
| أفضل الأسعار في العالم الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته | |
| 性质 / الملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| 使用温度/درجة حرارة العمل (درجة مئوية) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
| SiC 含量 / محتوى SiC | > 99.96% |
| 自由 Si 含量 / محتوى Si مجاني | <0.1% |
| 体积密度 / الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم33 |
| 气孔率 / المسامية الظاهرة | < 16% |
| 抗压强度 / قوة الضغط | > 600 ميجا باسكال |
| 常温抗弯强度 / قوة الانحناء البارد | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
| 高温抗弯强度 قوة الانحناء الساخن | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
| 热膨胀系数 / التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 10-6/ درجة مئوية |
| 导热系数 / التوصيل الحراري عند 1200 درجة مئوية | 23 واط/م•ك |
| 杨氏模量 / معامل المرونة | 240 جيجا |
| 抗热震性 / مقاومة الصدمات الحرارية | جيدة للغاية |
| 烧结碳化硅物理特性 الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون الملبد | |
| 性质 / الملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| 化学成分 / التركيب الكيميائي | كربيد السيليكون>95%، سيك>5% |
| 体积密度 / الكثافة الظاهرية | >3.07 جم/سم3 |
| 显气孔率 / المسامية الظاهرة | <0.1% |
| 常温抗弯强度 / معامل التمزق عند 20 درجة مئوية | 270 ميجا باسكال |
| 高温抗弯强度 / معامل التمزق عند 1200 درجة مئوية | 290 ميجا باسكال |
| 硬度 / صلابة عند 20 درجة مئوية | 2400 كجم/م2 |
| صلابة الكسر 20% | 3.3 ميجا باسكال · م1/2 |
| الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 45 واط/م.ك |
| 热膨胀系数 / التمدد الحراري عند 20-1200 درجة مئوية | 4.5 1 ×10 -6/ |
| 最高工作温度/الحد الأقصى لدرجة حرارة العمل | 1400 درجة مئوية |
| 热震稳定性 / مقاومة الصدمات الحرارية عند 1200 درجة مئوية | جيد |
| علاج الأمراض القلبية الوعائية SiC الخصائص الفيزيائية الأساسية لأفلام CVD SiC | |
| 性质 / الملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| 晶体结构 / الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
| 密度 / الكثافة | 3.21 جم/سم3 |
| 硬度 / صلابة 2500 | حمولة 500 جرام |
| 晶粒大小 / حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
| 纯度 / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 / درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| 抗弯强度 / قوة الانثناء | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
| 杨氏模量 / معامل يونج | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
| 导热系数 / الموصلية الحرارية | 300 واط · م-1·ك-1 |
| التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
طلاء الكربون الحراري
الخصائص الرئيسية
السطح كثيف وخالي من المسام.
درجة نقاء عالية، إجمالي محتوى الشوائب <20ppm، محكم الهواء جيد.
مقاومة درجات الحرارة العالية، تزداد القوة مع زيادة درجة حرارة الاستخدام، حيث تصل إلى أعلى قيمة عند 2750 درجة مئوية، والتسامي عند 3600 درجة مئوية.
معامل مرونة منخفض، موصلية حرارية عالية، معامل تمدد حراري منخفض، ومقاومة ممتازة للصدمات الحرارية.
ثبات كيميائي جيد، ومقاوم للأحماض والقلويات والملح والكواشف العضوية، وليس له أي تأثير على المعادن المنصهرة والخبث وغيرها من الوسائط المسببة للتآكل.لا يتأكسد بشكل ملحوظ في الجو أقل من 400 درجة مئوية، ويزداد معدل الأكسدة بشكل ملحوظ عند 800 درجة مئوية.
دون إطلاق أي غاز في درجات حرارة عالية، يمكنه الحفاظ على فراغ يتراوح بين 10-7 ملم زئبق عند حوالي 1800 درجة مئوية.
تطبيق المنتج
ذوبان بوتقة للتبخر في صناعة أشباه الموصلات.
بوابة أنبوب إلكترونية عالية الطاقة.
فرشاة تتصل بمنظم الجهد.
أحادي اللون من الجرافيت للأشعة السينية والنيوترونات.
أشكال مختلفة من ركائز الجرافيت وطلاء أنبوب الامتصاص الذري.
تأثير طلاء الكربون الحراري تحت مجهر 500X، مع سطح سليم ومحكم الغلق.
طلاء كربيد التنتالوم CVD
طلاء TaC هو الجيل الجديد من المواد المقاومة لدرجات الحرارة العالية، مع ثبات أفضل في درجات الحرارة العالية من SiC.كطلاء مقاوم للتآكل، وطلاء مضاد للأكسدة وطلاء مقاوم للاهتراء، يمكن استخدامه في البيئة التي تزيد عن 2000 درجة مئوية، ويستخدم على نطاق واسع في الأجزاء الساخنة ذات درجة الحرارة العالية للغاية في الفضاء الجوي، ومجالات النمو البلوري المفرد لأشباه الموصلات من الجيل الثالث.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 الخصائص الفيزيائية لطلاء TaC | |
| 密度/ الكثافة | 14.3 (جم/سم3) |
| 比辐射率 /الانبعاثية المحددة | 0.3 |
| 热膨胀系数/ معامل التمدد الحراري | 6.3 10/ك |
| صلابة / صلابة (هونج كونج) | 2000 هونج كونج |
| 电阻/ المقاومة | 1x10-5 أوم*سم |
| 热稳定性/الاستقرار الحراري | <2500 درجة مئوية |
| 石墨尺寸变化/تغير حجم الجرافيت | -10~-20um |
| سمك الطلاء / سمك الطلاء | ≥220um القيمة النموذجية (35um±10um) |
كربيد السيليكون الصلب (CVD SiC)
يتم التعرف على أجزاء كربيد السيليكون CVD الصلبة كخيار أساسي لحلقات وقواعد RTP/EPI وأجزاء تجويف حفر البلازما التي تعمل في درجات حرارة التشغيل العالية المطلوبة للنظام (> 1500 درجة مئوية)، ومتطلبات النقاء عالية بشكل خاص (> 99.9995%) ويكون الأداء جيدًا بشكل خاص عندما تكون المقاومة للمواد الكيميائية عالية بشكل خاص.لا تحتوي هذه المواد على أطوار ثانوية عند حافة الحبوب، لذلك تنتج مكوناتها جزيئات أقل من المواد الأخرى.بالإضافة إلى ذلك، يمكن تنظيف هذه المكونات باستخدام HF/HCI الساخن مع تدهور بسيط، مما يؤدي إلى تقليل الجزيئات وعمر خدمة أطول.
