ذراع التعامل مع الرقاقةهو أحد المعدات الرئيسية المستخدمة في عملية تصنيع أشباه الموصلات للتعامل والنقل والوضعرقائق. وتتكون عادة من ذراع آلية، وقابض، ونظام تحكم، مع قدرات دقيقة للحركة وتحديد المواقع.رقاقة التعامل مع الأسلحةتُستخدم على نطاق واسع في وصلات مختلفة في تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك خطوات العملية مثل تحميل الرقاقة والتنظيف وترسيب الأغشية الرقيقة والحفر والطباعة الحجرية والفحص. تعد قدرات الدقة والموثوقية والأتمتة ضرورية لضمان الجودة والكفاءة والاتساق في عملية الإنتاج.
تشمل الوظائف الرئيسية لذراع معالجة الرقاقة ما يلي:
1. نقل الرقاقات: ذراع معالجة الرقاقات قادر على نقل الرقاقات بدقة من مكان إلى آخر، مثل أخذ الرقاقات من رف التخزين ووضعها في جهاز المعالجة.
2. تحديد الموقع والتوجيه: إن ذراع معالجة الرقاقة قادر على تحديد موضع الرقاقة وتوجيهها بدقة لضمان المحاذاة الصحيحة والموضع لعمليات المعالجة أو القياس اللاحقة.
3. التثبيت والتحرير: عادة ما تكون أذرع مناولة الرقاقات مجهزة بقابضات يمكنها تثبيت الرقاقات بأمان وتحريرها عند الحاجة لضمان النقل والتعامل الآمن مع الرقاقات.
4. التحكم الآلي: تم تجهيز ذراع معالجة البسكويت بنظام تحكم متقدم يمكنه تنفيذ تسلسلات العمل المحددة مسبقًا تلقائيًا، وتحسين كفاءة الإنتاج وتقليل الأخطاء البشرية.
الخصائص والمزايا
1. الأبعاد الدقيقة والثبات الحراري.
2. صلابة محددة عالية وتوحيد حراري ممتاز، الاستخدام طويل الأمد ليس من السهل ثني التشوه.
3. يتميز بسطح أملس ومقاومة جيدة للتآكل، وبالتالي التعامل مع الرقاقة بأمان دون تلوث بالجسيمات.
4. مقاومة كربيد السيليكون في 106-108Ω، غير مغناطيسية، بما يتماشى مع متطلبات مواصفات مكافحة ESD؛ يمكنه منع تراكم الكهرباء الساكنة على سطح الشريحة.
5. الموصلية الحرارية الجيدة، معامل التمدد المنخفض.
