سميسيراويفر كاسيتهو عنصر حاسم في عملية تصنيع أشباه الموصلات، وهو مصمم لحمل ونقل رقائق أشباه الموصلات الحساسة بشكل آمن. الويفر كاسيتتوفر حماية استثنائية، مما يضمن الحفاظ على كل رقاقة خالية من الملوثات والأضرار المادية أثناء المناولة والتخزين والنقل.
تم تصنيع Semicera من مواد عالية النقاء ومقاومة للمواد الكيميائيةويفر كاسيتتضمن أعلى مستويات النظافة والمتانة، وهو أمر ضروري للحفاظ على سلامة الرقائق في كل مرحلة من مراحل الإنتاج. تسمح الهندسة الدقيقة لهذه الأشرطة بالتكامل السلس مع أنظمة المعالجة الآلية، مما يقلل من مخاطر التلوث والأضرار الميكانيكية.
تصميمويفر كاسيتكما يدعم أيضًا تدفق الهواء الأمثل والتحكم في درجة الحرارة، وهو أمر بالغ الأهمية للعمليات التي تتطلب ظروفًا بيئية محددة. سواء تم استخدامه في غرف الأبحاث أو أثناء المعالجة الحرارية، فإن Semiceraويفر كاسيتتم تصميمه لتلبية المتطلبات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات، وتوفير أداء موثوق ومتسق لتعزيز كفاءة التصنيع وجودة المنتج.
| أغراض | إنتاج | بحث | دمية |
| معلمات الكريستال | |||
| متعدد الأنواع | 4H | ||
| خطأ في اتجاه السطح | <11-20 >4±0.15° | ||
| المعلمات الكهربائية | |||
| منشط | ن نوع النيتروجين | ||
| المقاومة | 0.015-0.025 أوم·سم | ||
| المعلمات الميكانيكية | |||
| القطر | 150.0 ± 0.2 مم | ||
| سماكة | 350±25 ميكرومتر | ||
| التوجه المسطح الأساسي | [1-100]±5° | ||
| الطول المسطح الأساسي | 47.5±1.5 ملم | ||
| شقة ثانوية | لا أحد | ||
| تي تي في | ≥5 ميكرومتر | ≥10 ميكرومتر | ≥15 ميكرومتر |
| القيمة الدائمة | ≥3 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) | ≥5 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) | ≥10 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) |
| قَوس | -15 ميكرومتر ~ 15 ميكرومتر | -35 ميكرومتر ~ 35 ميكرومتر | -45 ميكرومتر ~ 45 ميكرومتر |
| الاعوجاج | ≥35 ميكرومتر | ≥45 ميكرومتر | ≥55 ميكرومتر |
| خشونة الجبهة (Si-face) (AFM) | Ra<0.2nm (5μm*5μm) | ||
| بناء | |||
| كثافة الأنابيب الدقيقة | <1 لكل سم/سم2 | <10 لكل سم/سم2 | <15 لكل وحدة/سم2 |
| الشوائب المعدنية | ≥5E10 ذرة/سم2 | NA | |
| اضطراب الشخصية الحدية | ≥1500 قطعة/سم2 | ≥3000 لكل سم/سم2 | NA |
| TSD | ≥500 لكل سم/سم2 | ≥1000 لكل سم/سم2 | NA |
| الجودة الأمامية | |||
| أمام | Si | ||
| الانتهاء من السطح | سي الوجه CMP | ||
| الجسيمات | ≥60ea/رقاقة (الحجم≥0.3μm) | NA | |
| الخدوش | ≥5ea/مم. الطول التراكمي ≥ القطر | الطول التراكمي ≥2*القطر | NA |
| قشر البرتقال / الحفر / البقع / التشققات / الشقوق / التلوث | لا أحد | NA | |
| رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/ألواح سداسية | لا أحد | ||
| مناطق متعددة الأنواع | لا أحد | المساحة التراكمية ≥20% | المساحة التراكمية ≥30% |
| علامات الليزر الأمامية | لا أحد | ||
| جودة الظهر | |||
| الانتهاء من الخلف | C-الوجه CMP | ||
| الخدوش | ≥5ea/mm، الطول التراكمي ≥2*القطر | NA | |
| عيوب الظهر (رقائق الحواف/المسافات البادئة) | لا أحد | ||
| خشونة الظهر | Ra<0.2nm (5μm*5μm) | ||
| وسم بالليزر على الظهر | 1 ملم (من الحافة العلوية) | ||
| حافة | |||
| حافة | الشطب | ||
| التعبئة والتغليف | |||
| التعبئة والتغليف | Epi جاهز مع تعبئة مفرغة من الهواء تغليف كاسيت متعدد الرقاقات | ||
| *ملاحظات: "NA" تعني عدم وجود طلب، وقد تشير العناصر غير المذكورة إلى SEMI-STD. | |||
