لوحة دعم قابلة للتقبل مطلية بكربيد التنتالومعبارة عن هيكل قابل أو داعم مغطى بطبقة رقيقة منكربيد التنتالوم. يمكن تشكيل هذا الطلاء على سطح المادة الحساسة عن طريق تقنيات مثل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، مما يمنح المادة الحساسة خصائص متفوقةكربيد التنتالوم.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات.تمكن عملية الطلاء الرائدة في Semicera طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) من تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، مما يحسن جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC مطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، غزت Semicera تكنولوجياالأمراض القلبية الوعائية تاكمع الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد الاستخدامتاك، الفرق كبير. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
تشمل السمات الرئيسية لألواح الدعم الأساسية المطلية بكربيد التنتالوم ما يلي:
1. ثبات درجة الحرارة العالية: يتمتع كربيد التنتالوم بثبات ممتاز في درجة الحرارة العالية، مما يجعل لوحة دعم القاعدة المطلية مناسبة لاحتياجات الدعم في بيئات العمل ذات درجة الحرارة العالية.
2. مقاومة التآكل: يتميز طلاء كربيد التنتالوم بمقاومة جيدة للتآكل، ويمكنه مقاومة التآكل الكيميائي والأكسدة، وإطالة عمر خدمة القاعدة.
3. صلابة عالية ومقاومة التآكل: الصلابة العالية لطلاء كربيد التنتالوم تمنح لوحة الدعم الأساسية مقاومة جيدة للتآكل، وهي مناسبة للمناسبات التي تتطلب مقاومة عالية للتآكل.
4. الاستقرار الكيميائي: يتمتع كربيد التنتالوم بثبات عالي لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية، مما يجعل لوحة دعم القاعدة المطلية تعمل بشكل جيد في بعض البيئات المسببة للتآكل.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
