كربيد التنتالوم المغلفة ورقة الجرافيتهي مادة من الجرافيت ذات طبقة رقيقة منكربيد التنتالومعلى سطح الركيزة. عادة ما يتم تشكيل الطبقة الرقيقة من كربيد التنتالوم على سطح ركيزة الجرافيت من خلال تقنيات مثل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD). يتميز هذا الطلاء بخصائص ممتازة مثل الصلابة العالية ومقاومة التآكل الممتازة ومقاومة التآكل واستقرار درجات الحرارة العالية.
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات.تمكن عملية الطلاء الرائدة في Semicera طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) من تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، مما يحسن جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC مطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، غزت Semicera تكنولوجياالأمراض القلبية الوعائية تاكمع الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد الاستخدامتاك، الفرق كبير. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
المزايا الرئيسية لصفائح الجرافيت المطلية بكربيد التنتالوم تشمل:
1. مقاومة درجات الحرارة العالية: يتمتع كربيد التنتالوم بنقطة انصهار عالية واستقرار ممتاز لدرجة الحرارة العالية، مما يجعل لوح الجرافيت المطلي مناسب للاستخدام في بيئات درجات الحرارة العالية.
2. مقاومة التآكل: يمكن لطلاء كربيد التنتالوم أن يقاوم تآكل العديد من المواد الكيميائية المسببة للتآكل ويطيل عمر خدمة المادة.
3. صلابة عالية: توفر الصلابة العالية للطبقة الرقيقة من كربيد التنتالوم مقاومة جيدة للتآكل ومناسبة للتطبيقات التي تتطلب مقاومة تآكل عالية.
4. الاستقرار الكيميائي: يتمتع طلاء كربيد التنتالوم بثبات ممتاز للتآكل الكيميائي وهو مناسب للاستخدام في بعض الوسائط المسببة للتآكل.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
