توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات.تمكن عملية الطلاء الرائدة في Semicera طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) من تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، مما يحسن جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC مطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
تُستخدم حاملات الرقاقات المغطاة بكربيد التنتالوم على نطاق واسع في عمليات معالجة الرقائق ومناولتها في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. إنها توفر دعمًا وحماية مستقرين لضمان سلامة ودقة واتساق الرقائق أثناء عملية التصنيع. يمكن لطلاءات كربيد التنتالوم إطالة عمر خدمة الناقل، وتقليل التكاليف، وتحسين جودة وموثوقية منتجات أشباه الموصلات.
وصف حامل الرقاقة المطلي بكربيد التنتالوم هو كما يلي:
1. اختيار المواد: كربيد التنتالوم هو مادة ذات أداء ممتاز، وصلابة عالية، ونقطة انصهار عالية، ومقاومة للتآكل وخصائص ميكانيكية ممتازة، لذلك يتم استخدامه على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات.
2. طلاء السطح: يتم تطبيق طلاء كربيد التنتالوم على سطح حامل الرقاقة من خلال عملية طلاء خاصة لتشكيل طلاء كربيد التنتالوم الموحد والكثيف. يمكن أن يوفر هذا الطلاء حماية إضافية ومقاومة للتآكل، مع وجود توصيل حراري جيد.
3. التسطيح والدقة: حامل الرقاقة المطلي بكربيد التنتالوم لديه درجة عالية من التسطيح والدقة، مما يضمن استقرار ودقة الرقاقات أثناء عملية التصنيع. يعد تسطيح السطح الحامل وتشطيبه أمرًا بالغ الأهمية لضمان جودة وأداء الرقاقة.
4. ثبات درجة الحرارة: يمكن لحامل الرقاقة المطلية بكربيد التنتالوم الحفاظ على الاستقرار في بيئات درجة الحرارة العالية دون تشوه أو ارتخاء، مما يضمن ثبات واتساق الرقاقات في عمليات درجات الحرارة العالية.
5. مقاومة التآكل: تتمتع طلاءات كربيد التنتالوم بمقاومة ممتازة للتآكل، ويمكن أن تقاوم تآكل المواد الكيميائية والمذيبات، وتحمي الناقل من تآكل السائل والغاز.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
