توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات.تمكن عملية الطلاء الرائدة في Semicera طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) من تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، مما يحسن جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC مطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
الجرافيت مادة ممتازة تتحمل درجات الحرارة العالية، لكنه يتأكسد بسهولة عند درجات الحرارة المرتفعة. حتى في أفران التفريغ التي تحتوي على غاز خامل، فإنه لا يزال من الممكن أن يخضع للأكسدة البطيئة. يمكن أن يؤدي استخدام طلاء كربيد التنتالوم (TaC) CVD إلى حماية ركيزة الجرافيت بشكل فعال، مما يوفر نفس المقاومة لدرجات الحرارة العالية مثل الجرافيت. يعتبر TaC أيضًا مادة خاملة، مما يعني أنها لن تتفاعل مع غازات مثل الأرجون أو الهيدروجين عند درجات حرارة عالية.سؤالبوتقة طلاء كربيد التنتالوم CVD الآن!
بعد سنوات من التطوير، غزت Semicera تكنولوجياالأمراض القلبية الوعائية تاكمع الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد الاستخدامتاك، الفرق كبير. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
