اللوحة المطلية بـ TaC عبارة عن قرص متخصص مصمم للاستخدام في العمليات الفوقية لـ SiC، وهو مصنوع بدقة من مادة الجرافيت عالية الجودة. سطحه مطلي بدقة بمادة كربيد التنتالوم (TaC)، وهو مركب معروف بنقائه وقوته الاستثنائيتين. يعزز طلاء TaC متانة اللوحة ومقاومتها لدرجات الحرارة المرتفعة، مما يجعلها مثالية للظروف الصعبة للعمليات الفوقية من SiC.
هذه اللوحة المبتكرة المطلية بـ TaC عبارة عن قرص متخصص مصمم للاستخدام في العمليات الفوقية SiC، وهو مصنوع بدقة من مادة الجرافيت عالية الجودة. سطح اللوحة المطلي بـ TaC مطلي بدقة بمادة كربيد التنتالوم (TaC)، وهو مركب معروف بنقائه وقوته الاستثنائيتين. بمثابة منصة موثوقة لحمل الرقائق خلال مراحل مختلفة من النمو الفوقي SiC. توفر قاعدة الجرافيت عالية النقاء سطحًا ثابتًا وخاملاً، بينما تضيف طبقة TaC طبقة إضافية من الحماية ضد التفاعلات الكيميائية والتآكل.
سيميكعصريتم تخصيص اللوحة المطلية بـ TaC وفقًا للمتطلبات المحددة للعملاء، مما يضمن الأداء الأمثل والتوافق مع أنظمة SiC الفوقي الخاصة بهم. سواء كان الحجم أو الشكل أو المواصفات الأخرى، فقد تم تصميم هذه اللوحات لتلبية الاحتياجات الفريدة لكل تطبيق.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
