طلاء CVD TaC

مقدمة لطلاء CVD TaC:

طلاء CVD TaC عبارة عن تقنية تستخدم ترسيب البخار الكيميائي لترسيب طلاء كربيد التنتالوم (TaC) على سطح الركيزة. كربيد التنتالوم عبارة عن مادة خزفية عالية الأداء ذات خصائص ميكانيكية وكيميائية ممتازة. تولد عملية CVD طبقة TaC موحدة على سطح الركيزة من خلال تفاعل الغاز.

الميزات الرئيسية:

صلابة ممتازة ومقاومة التآكل: يتميز كربيد التنتالوم بصلابة عالية للغاية، ويمكن أن يؤدي طلاء CVD TaC إلى تحسين مقاومة التآكل للركيزة بشكل كبير. وهذا يجعل الطلاء مثاليًا للتطبيقات في البيئات شديدة التآكل، مثل أدوات القطع والقوالب.

استقرار درجة الحرارة العالية: تعمل طلاءات TaC على حماية مكونات الفرن والمفاعلات الحرجة عند درجات حرارة تصل إلى 2200 درجة مئوية، مما يدل على استقرار جيد. إنه يحافظ على الاستقرار الكيميائي والميكانيكي في ظل ظروف درجات الحرارة القصوى، مما يجعله مناسبًا للمعالجة والتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية في البيئات ذات درجات الحرارة العالية.

استقرار كيميائي ممتاز: يتمتع كربيد التنتالوم بمقاومة قوية للتآكل لمعظم الأحماض والقلويات، ويمكن لطلاء CVD TaC أن يمنع بشكل فعال تلف الركيزة في البيئات المسببة للتآكل.

نقطة انصهار عالية: يحتوي كربيد التنتالوم على نقطة انصهار عالية (حوالي 3880 درجة مئوية)، مما يسمح باستخدام طلاء CVD TaC في ظروف درجات الحرارة المرتفعة للغاية دون ذوبان أو تدهور.

الموصلية الحرارية ممتازة: يتميز طلاء TaC بموصلية حرارية عالية، مما يساعد على تبديد الحرارة بشكل فعال في العمليات ذات درجات الحرارة العالية ومنع ارتفاع درجة الحرارة المحلية.

التطبيقات المحتملة:

• مكونات مفاعل نتريد الغاليوم (GaN) وكربيد السيليكون الفوقي للأمراض القلبية الوعائية، بما في ذلك حاملات الرقاقات، وأطباق الأقمار الصناعية، ورؤوس الدش، والأسقف، والمستقبلات

• مكونات النمو البلوري من كربيد السيليكون ونيتريد الغاليوم ونيتريد الألومنيوم (AlN)، بما في ذلك البوتقات وحوامل البذور وحلقات التوجيه والمرشحات

• المكونات الصناعية بما في ذلك عناصر التسخين المقاومة، وفوهات الحقن، وحلقات التقنيع وأدوات اللحام

ميزات التطبيق:

• درجة حرارة ثابتة فوق 2000 درجة مئوية، مما يسمح بالتشغيل في درجات الحرارة القصوى
•مقاومة للهيدروجين (هرتز)، والأمونيا (NH3)، والمونوسيلان (SiH4) والسيليكون (Si)، مما يوفر الحماية في البيئات الكيميائية القاسية.
• تتيح مقاومته للصدمات الحرارية دورات تشغيل أسرع
• يتمتع الجرافيت بقدرة التصاق قوية، مما يضمن عمر خدمة طويلًا وعدم وجود تشققات في الطلاء.
• درجة نقاء فائقة لإزالة الشوائب أو الملوثات غير الضرورية
• تغطية طلاء مطابقة لتفاوتات الأبعاد الضيقة

المواصفات الفنية:

تحضير طلاءات كربيد التنتالوم الكثيفة بواسطة CVD: