حلقات توجيه من الجرافيت مطلية بـ TaCتشير إلى ترسب طبقة رقيقة منكربيد التنتالومعلى سطح حلقة توجيه الجرافيت لتحسين مقاومة التآكل ومقاومة درجات الحرارة العالية والثبات الكيميائي. عادة ما يتم تشكيل هذا الطلاء على سطح حلقة توجيه الجرافيت من خلال تقنيات مثل ترسيب البخار الفيزيائي (PVD) أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
توفر شركة Semicera طلاءات متخصصة من كربيد التنتالوم (TaC) لمختلف المكونات والناقلات.تمكن عملية الطلاء الرائدة في Semicera طلاءات كربيد التنتالوم (TaC) من تحقيق درجة نقاء عالية وثبات في درجات الحرارة العالية وتحمل كيميائي عالٍ، مما يحسن جودة المنتج من بلورات SIC/GAN وطبقات EPI (مستقبل TaC مطلي بالجرافيت)، وإطالة عمر مكونات المفاعل الرئيسية. إن استخدام طلاء TaC من كربيد التنتالوم هو حل مشكلة الحافة وتحسين جودة نمو البلورات، وقد حققت شركة Semicera اختراقًا في حل تكنولوجيا طلاء كربيد التنتالوم (CVD)، لتصل إلى المستوى المتقدم الدولي.
بعد سنوات من التطوير، غزت Semicera تكنولوجياالأمراض القلبية الوعائية تاكمع الجهود المشتركة لقسم البحث والتطوير. من السهل أن تحدث العيوب في عملية نمو رقائق SiC، ولكن بعد الاستخدامتاك، الفرق كبير. فيما يلي مقارنة بين الرقاقات التي تحتوي على TaC وبدونها، بالإضافة إلى أجزاء Simicera للنمو البلوري الفردي.
تشمل الميزات الرئيسية لحلقات دليل الجرافيت المطلية بـ TaC ما يلي:
1. مقاومة درجات الحرارة العالية: يتميز طلاء TaC بثبات ممتاز في درجات الحرارة العالية ويمكنه الحفاظ على الاستقرار في بيئات درجات الحرارة المرتفعة.
2. مقاومة التآكل: الصلابة العالية للطبقة الرقيقة من كربيد التنتالوم تمنح حلقة التوجيه مقاومة جيدة للتآكل وتطيل عمر الخدمة.
3. الاستقرار الكيميائي: يتميز طلاء TaC بثبات عالي ضد التآكل الكيميائي، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات في بعض الوسائط المسببة للتآكل.
4. تقليل الاحتكاك: يمكن لطلاء TaC أن يقلل بشكل فعال الاحتكاك بين حلقة توجيه الجرافيت والمكونات الأخرى وتحسين كفاءة الأختام الميكانيكية.
مع وبدون TaC
بعد استخدام TaC (يمين)
علاوة على ذلك، فإن Semicera'sالمنتجات المغلفة بـ TaCيُظهر عمر خدمة أطول ومقاومة أكبر لدرجات الحرارة العالية مقارنة بـطلاءات كربيد السيليكون.لقد أثبتت القياسات المخبرية أن لديناطلاءات تاكيمكن أن تعمل باستمرار في درجات حرارة تصل إلى 2300 درجة مئوية لفترات طويلة. وفيما يلي بعض الأمثلة على العينات لدينا:
