نظرة عامة على المنتج
المجداف كربيد السيليكون (SiC) المشرب بالسيليكون وحامل الويفرتم تصميمه لتلبية المتطلبات الصعبة لتطبيقات المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات. مصنوع من SiC عالي النقاء ومعزز من خلال تشريب السيليكون، هذا المنتج يقدم مزيجًا فريدًا من الأداء في درجات الحرارة العالية، والتوصيل الحراري الممتاز، ومقاومة التآكل، والقوة الميكانيكية المتميزة.
ومن خلال دمج علوم المواد المتقدمة مع التصنيع الدقيق، يضمن هذا الحل أداءً فائقًا وموثوقية ومتانة لمصنعي أشباه الموصلات.
الميزات الرئيسية
1.مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية
مع نقطة انصهار تتجاوز 2700 درجة مئوية، تكون مواد SiC مستقرة بطبيعتها تحت الحرارة الشديدة. كما يعمل تشريب السيليكون على تعزيز ثباتها الحراري، مما يسمح لها بتحمل التعرض لفترات طويلة لدرجات حرارة عالية دون إضعاف هيكلي أو تدهور الأداء.
2.الموصلية الحرارية متفوقة
تضمن التوصيل الحراري الاستثنائي لـ SiC المشبع بالسيليكون توزيعًا موحدًا للحرارة، مما يقلل من الضغط الحراري أثناء مراحل المعالجة الحرجة. تعمل هذه الخاصية على إطالة عمر المعدات وتقليل وقت توقف الإنتاج، مما يجعلها مثالية للمعالجة الحرارية ذات درجات الحرارة العالية.
3.الأكسدة ومقاومة التآكل
تتشكل طبقة قوية من أكسيد السيليكون بشكل طبيعي على السطح، مما يوفر مقاومة متميزة للأكسدة والتآكل. ويضمن ذلك موثوقية طويلة الأمد في بيئات التشغيل القاسية، مما يؤدي إلى حماية كل من المواد والمكونات المحيطة.
4.قوة ميكانيكية عالية ومقاومة التآكل
يتميز SiC المشبع بالسيليكون بقوة ضغط ممتازة ومقاومة للتآكل، ويحافظ على سلامته الهيكلية في ظل ظروف الحمل العالي ودرجات الحرارة العالية. وهذا يقلل من مخاطر التلف الناتج عن التآكل، مما يضمن أداءً ثابتًا على مدار دورات الاستخدام الممتدة.
تحديد
| اسم المنتج | SC-RSiC-سي |
| مادة | تشريب السيليكون كربيد السيليكون المضغوط (عالية النقاء) |
| التطبيقات | أجزاء المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات، أجزاء معدات تصنيع أشباه الموصلات |
| نموذج التسليم | الجسم المصبوب (الجسم الملبد) |
| تعبير | الملكية الميكانيكية | معامل يونغ (GPa) | قوة الانحناء (ميجا باسكال) | ||
| التركيب (المجلد٪) | α-سيك | α-سيك | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800 درجة مئوية | 360 | 220 | |
| الكثافة الظاهرية (كجم/م3) | 3.02 × 103 | 1200 درجة مئوية | 340 | 220 | |
| درجة حرارة عازلة للحرارة درجة مئوية | 1350 | نسبة بواسون | 0.18(رت) | ||
| الملكية الحرارية | الموصلية الحرارية (ث/(م·ك)) | السعة الحرارية المحددة (كيلو جول/(كجم·ك)) | معامل التمدد الحراري (1/ك) | ||
| RT | 220 | 0.7 | درجة الحرارة ~ 700 درجة مئوية | 3.4 × 10-6 | |
| 700 درجة مئوية | 60 | 1.23 | 700 ~ 1200 درجة مئوية | 4.3x10-6 | |
| محتوى الشوائب ((جزء في المليون) | |||||||||||||
| عنصر | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| معدل المحتوى | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
التطبيقات
▪المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات:مثالي لعمليات مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والنمو الفوقي، والتليين، حيث يعد التحكم الدقيق في درجة الحرارة ومتانة المواد أمرًا بالغ الأهمية.
▪حاملات ومجاديف الويفر:مصممة لحمل الرقائق ونقلها بشكل آمن أثناء المعالجات الحرارية ذات درجة الحرارة العالية.
▪بيئات التشغيل القاسية: مناسب للإعدادات التي تتطلب مقاومة للحرارة والتعرض للمواد الكيميائية والإجهاد الميكانيكي.
مزايا كربيد السيليكون المشرب بالسيليكون
يوفر الجمع بين كربيد السيليكون عالي النقاء وتقنية تشريب السيليكون المتقدمة فوائد أداء لا مثيل لها:
▪دقة:يعزز دقة ومراقبة معالجة أشباه الموصلات.
▪استقرار:يتحمل البيئات القاسية دون المساس بالوظيفة.
▪طول العمر:يطيل عمر خدمة معدات تصنيع أشباه الموصلات.
▪كفاءة:يحسن الإنتاجية من خلال ضمان نتائج موثوقة ومتسقة.
لماذا نختار حلولنا المصنوعة من كربيد السيليكون المشربة بالسيليكون؟
At نصفية، نحن متخصصون في تقديم حلول عالية الأداء مصممة خصيصًا لتلبية احتياجات الشركات المصنعة لأشباه الموصلات. يخضع مجداف كربيد السيليكون المشبع بالسيليكون وحامل الويفر لاختبارات صارمة وضمان الجودة للوفاء بمعايير الصناعة. باختيار Semicera، يمكنك الوصول إلى أحدث المواد المصممة لتحسين عمليات التصنيع لديك وتعزيز قدراتك الإنتاجية.
المواصفات الفنية
▪تكوين المواد:كربيد السيليكون عالي النقاء مع تشريب السيليكون.
▪نطاق درجة حرارة التشغيل:تصل إلى 2700 درجة مئوية.
▪ الموصلية الحرارية:عالية بشكل استثنائي لتوزيع الحرارة بشكل موحد.
▪خصائص المقاومة:الأكسدة والتآكل ومقاومة للاهتراء.
▪التطبيقات:متوافق مع أنظمة المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات المختلفة.
اتصل بنا
هل أنت مستعد للارتقاء بعملية تصنيع أشباه الموصلات لديك؟ اتصالنصفيةاليوم لمعرفة المزيد عن مجداف كربيد السيليكون المشرب بالسيليكون وحامل الويفر.
▪بريد إلكتروني: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪هاتف: +86-0574-8650 3783
▪موقع:رقم 1958 طريق جيانغنان، منطقة نينغبو للتكنولوجيا الفائقة، مقاطعة تشجيانغ، 315201، الصين
