وصف
توفر حاملات الرقاقة Semicorex المزودة بطبقة SiC ثباتًا حراريًا وموصلية استثنائية، مما يضمن توزيعًا موحدًا للحرارة أثناء عمليات CVD، وهو أمر بالغ الأهمية للأغشية الرقيقة وخصائص الطلاء عالية الجودة.
الميزات الرئيسية:
1. الاستقرار الحراري المتميز والتوصيلتتفوق ناقلات الرقاقة المطلية بطبقة SiC في الحفاظ على درجات حرارة ثابتة ومتسقة، وهو أمر بالغ الأهمية لعمليات الأمراض القلبية الوعائية. وهذا يضمن توزيعًا موحدًا للحرارة، مما يؤدي إلى الحصول على طبقة رقيقة وجودة طلاء فائقة.
2. التصنيع الدقيقيتم تصنيع كل حامل بسكويت الويفر وفقًا لمعايير صارمة، مما يضمن سماكة موحدة ونعومة السطح. تعد هذه الدقة أمرًا حيويًا لتحقيق معدلات ترسيب ثابتة وخصائص أفلام عبر شرائح متعددة، مما يعزز جودة التصنيع بشكل عام.
3. حاجز النجاسةيعمل طلاء SiC كحاجز غير منفذ، مما يمنع انتشار الشوائب من المستقبِل إلى الرقاقة. وهذا يقلل من مخاطر التلوث، وهو أمر بالغ الأهمية لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات عالية النقاء.
4. المتانة وكفاءة التكلفةيعمل البناء القوي وطلاء SiC على تعزيز متانة حاملات الرقاقة، مما يقلل من تكرار استبدال المستقبِلات. ويؤدي ذلك إلى انخفاض تكاليف الصيانة وتقليل وقت التوقف عن العمل، مما يزيد من كفاءة عمليات تصنيع أشباه الموصلات.
5. خيارات التخصيصيمكن تخصيص حاملات رقائق Semicorex ذات طلاء SiC لتلبية متطلبات العملية المحددة، بما في ذلك الاختلافات في الحجم والشكل وسمك الطلاء. تسمح هذه المرونة بتحسين المستقبِل ليتوافق مع المتطلبات الفريدة لعمليات تصنيع أشباه الموصلات المختلفة. تتيح خيارات التخصيص تطوير تصميمات مستقبلية مصممة خصيصًا للتطبيقات المتخصصة، مثل التصنيع بكميات كبيرة أو البحث والتطوير، مما يضمن الأداء الأمثل لحالات استخدام محددة.
التطبيقات:
تعتبر حاملات الويفر Semicera المطلية بطبقة SiC مناسبة بشكل مثالي لما يلي:
• النمو الفوقي للمواد شبه الموصلة
• عمليات ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD).
• إنتاج رقائق أشباه الموصلات عالية الجودة
• تطبيقات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة
المواصفات الفنية:
