نصفيةطلاء سيراميك كربيد السيليكونعبارة عن طبقة واقية عالية الأداء مصنوعة من مادة كربيد السيليكون (SiC) شديدة الصلابة ومقاومة للاهتراء. عادة ما يتم ترسيب الطلاء على سطح الركيزة عن طريق عملية CVD أو PVDجزيئات كربيد السيليكون، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجات الحرارة العالية. لذلك، يتم استخدام طلاء السيراميك من كربيد السيليكون على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.
في صناعة أشباه الموصلات،طلاء سيكيمكن أن يتحمل درجات حرارة عالية جدًا تصل إلى 1600 درجة مئوية، لذلك غالبًا ما يتم استخدام طلاء السيراميك من كربيد السيليكون كطبقة واقية للمعدات أو الأدوات لمنع الضرر في درجات الحرارة المرتفعة أو البيئات المسببة للتآكل.
في الوقت نفسه،طلاء السيراميك كربيد السيليكونيمكن أن تقاوم تآكل الأحماض والقلويات والأكاسيد والكواشف الكيميائية الأخرى، ولها مقاومة عالية للتآكل لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية. لذلك، هذا المنتج مناسب لمختلف البيئات المسببة للتآكل في صناعة أشباه الموصلات.
علاوة على ذلك، بالمقارنة مع المواد الخزفية الأخرى، يتمتع SiC بموصلية حرارية أعلى ويمكنه توصيل الحرارة بشكل فعال. تحدد هذه الميزة أنه في عمليات أشباه الموصلات التي تتطلب التحكم الدقيق في درجة الحرارة، فإن الموصلية الحرارية العالية للطلاء سيراميك كربيد السيليكونيساعد على توزيع الحرارة بالتساوي، ومنع ارتفاع درجة الحرارة المحلية، والتأكد من أن الجهاز يعمل في درجة الحرارة المثلى.
| الخصائص الفيزيائية الأساسية لطلاء الأمراض القلبية الوعائية (كذا). | |
| ملكية | القيمة النموذجية |
| الهيكل البلوري | FCC β طور متعدد البلورات، موجه بشكل رئيسي (111). |
| كثافة | 3.21 جم/سم3 |
| صلابة | 2500 صلابة فيكرز (حمولة 500 جرام) |
| حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
| النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| القدرة الحرارية | 640 جول·كجم-1· ك-1 |
| درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| قوة العاطفة | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
| معامل يونغ | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
| الموصلية الحرارية | 300 واط · م-1· ك-1 |
| التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
