تعد حلقة التركيز الصلبة SiC من Semicera مكونًا متطورًا مصممًا لتلبية متطلبات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. مصنوعة من درجة نقاء عاليةكربيد السيليكون (SiC)، تعتبر حلقة التركيز هذه مثالية لمجموعة واسعة من التطبيقات في صناعة أشباه الموصلات، وخاصة فيعمليات CVD SiC، النقش بالبلازما، وبرنامج المقارنات الدوليةRIE (النقش الأيوني التفاعلي بالبلازما المقترنة حثيًا). وهو معروف بمقاومته الاستثنائية للتآكل، والثبات الحراري العالي، والنقاء، ويضمن أداءً طويل الأمد في البيئات عالية الضغط.
في أشباه الموصلاترقاقةالمعالجة، تعتبر حلقات التركيز الصلبة من SiC ضرورية في الحفاظ على الحفر الدقيق أثناء الحفر الجاف وتطبيقات حفر الرقاقة. تساعد حلقة التركيز SiC في تركيز البلازما أثناء عمليات مثل عمليات آلة حفر البلازما، مما يجعلها لا غنى عنها لحفر رقائق السيليكون. توفر مادة SiC الصلبة مقاومة لا مثيل لها للتآكل، مما يضمن طول عمر معداتك ويقلل وقت التوقف عن العمل، وهو أمر ضروري للحفاظ على إنتاجية عالية في تصنيع أشباه الموصلات.
تم تصميم حلقة التركيز الصلبة SiC من Semicera لتحمل درجات الحرارة القصوى والمواد الكيميائية العدوانية الشائعة في صناعة أشباه الموصلات. لقد تم تصميمه خصيصًا للاستخدام في المهام عالية الدقة مثلطلاءات CVD SiC، حيث النقاء والمتانة أمر بالغ الأهمية. بفضل المقاومة الممتازة للصدمات الحرارية، يضمن هذا المنتج أداءً ثابتًا ومستقرًا في ظل أقسى الظروف، بما في ذلك التعرض لدرجات الحرارة المرتفعة أثناء ذلكرقاقةعمليات النقش.
في تطبيقات أشباه الموصلات، حيث تكون الدقة والموثوقية أمرًا أساسيًا، تلعب حلقة التركيز Solid SiC دورًا محوريًا في تعزيز الكفاءة الإجمالية لعمليات الحفر. إن تصميمه القوي وعالي الأداء يجعله الخيار الأمثل للصناعات التي تتطلب مكونات عالية النقاء تعمل في ظل الظروف القاسية. سواء استخدمت فيحلقة CVD SiCالتطبيقات أو كجزء من عملية حفر البلازما، تساعد حلقة التركيز الصلبة من SiC من Semicera على تحسين أداء أجهزتك، مما يوفر طول العمر والموثوقية التي تتطلبها عمليات الإنتاج الخاصة بك.
الميزات الرئيسية:
• مقاومة فائقة للتآكل وثبات حراري عالي
• مادة كربيد السيليكون الصلبة عالية النقاء لإطالة العمر الافتراضي
• مثالية لحفر البلازما، ICP RIE، وتطبيقات الحفر الجاف
• مثالية لنقش الرقاقة، خاصة في عمليات CVD SiC
• أداء موثوق في البيئات القاسية ودرجات الحرارة المرتفعة
• ضمان الدقة والكفاءة في حفر رقائق السيليكون
التطبيقات:
• عمليات CVD SiC في تصنيع أشباه الموصلات
• النقش بالبلازما وأنظمة ICP RIE
• عمليات الحفر الجاف والنقش على الرقاقات
• الحفر والترسيب في ماكينات الحفر بالبلازما
• مكونات دقيقة لحلقات الويفر وحلقات CVD SiC
التشكل المجهري لسطح CVD SiC
التشكل المجهري للمقطع العرضي لـ CVD SiC
