RTPحلقات CVD SiCتستخدم على نطاق واسع في المجالات الصناعية والعلمية في درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل. إنه يلعب دورًا مهمًا في تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية والآلات الدقيقة والصناعة الكيميائية. تشمل التطبيقات المحددة ما يلي:
1. تصنيع أشباه الموصلات:حلقات RTP CVD SiCيمكن استخدامه لتسخين وتبريد معدات أشباه الموصلات، مما يوفر تحكمًا ثابتًا في درجة الحرارة ويضمن دقة واتساق العملية.
2. الإلكترونيات الضوئية: بسبب موصليتها الحرارية الممتازة ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية، RTPحلقات CVD SiCيمكن استخدامها كمواد دعم وتبديد الحرارة لليزر ومعدات اتصالات الألياف الضوئية والمكونات البصرية.
3. الآلات الدقيقة: يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC للأدوات والمعدات الدقيقة في البيئات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل، مثل أفران درجة الحرارة العالية وأجهزة التفريغ والمفاعلات الكيميائية.
4. الصناعة الكيميائية: نظرًا لمقاومتها للتآكل وثباتها الكيميائي، يمكن استخدام حلقات RTP CVD SiC في الحاويات والأنابيب والمفاعلات في التفاعلات الكيميائية والعمليات التحفيزية.
نظام إبي
نظام RTP
نظام الأمراض القلبية الوعائية
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطبيق المنتج:
تتميز مواد كربيد السيليكون بخصائص الصلابة العالية ومقاومة التآكل ومقاومة التآكل واستقرار درجات الحرارة العالية. يتم استخدام المنتجات ذات الأداء الشامل الممتاز على نطاق واسع في عمليات الحفر الجاف وعمليات TF/الانتشار.
أداء المنتج:
1. تلبية العملية أدناه 28nm
2. مقاومة فائقة للتآكل
3. أداء فائق النظافة
4. صلابة فائقة
5. كثافة عالية
6. مقاومة درجات الحرارة العالية
7. مقاومة التآكل
تطوير العملية المركبة:
• طلاء جرافيت + كربيد السيليكون
• سوليد الأمراض القلبية الوعائية كربيد السيليكون
• متكلس SiC+CVD
• SicSintered SiC
تطوير أنواع المنتجات المتعددة:
• جرس
• طاولة
• المشتبه به
• رأس الدش
