CVD السائبة كربيد السيليكون (SiC)
ملخص:الأمراض القلبية الوعائيةكربيد السيليكون السائب (SiC)هي مادة مطلوبة بشدة في معدات حفر البلازما، وتطبيقات المعالجة الحرارية السريعة (RTP)، وعمليات تصنيع أشباه الموصلات الأخرى. إن خواصها الميكانيكية والكيميائية والحرارية الاستثنائية تجعلها مادة مثالية لتطبيقات التكنولوجيا المتقدمة التي تتطلب دقة ومتانة عالية.
تطبيقات CVD Bulk SiC:يعتبر الجزء الأكبر من SiC أمرًا بالغ الأهمية في صناعة أشباه الموصلات، لا سيما في أنظمة حفر البلازما، حيث تستفيد المكونات مثل حلقات التركيز ورؤوس دش الغاز وحلقات الحافة والألواح من مقاومة SiC المتميزة للتآكل والتوصيل الحراري. ويمتد استخدامه إلىRTPنظرًا لقدرة SiC على تحمل التقلبات السريعة في درجات الحرارة دون تدهور كبير.
بالإضافة إلى معدات الحفر، الأمراض القلبية الوعائيةالسائبة كربيديُفضل استخدامه في أفران الانتشار وعمليات نمو البلورات، حيث يتطلب الأمر ثباتًا حراريًا عاليًا ومقاومة للبيئات الكيميائية القاسية. هذه السمات تجعل من SiC المادة المفضلة للتطبيقات عالية الطلب التي تنطوي على درجات حرارة عالية وغازات قابلة للتآكل، مثل تلك التي تحتوي على الكلور والفلور.
مزايا مكونات CVD السائبة SiC:
•كثافة عالية:بكثافة 3.2 جرام/سم3الأمراض القلبية الوعائية السائبة كربيد السيليكونالمكونات شديدة المقاومة للتآكل والتأثيرات الميكانيكية.
•الموصلية الحرارية متفوقة:من خلال تقديم موصلية حرارية تبلغ 300 واط/م·ك، يدير الجزء الأكبر من SiC الحرارة بكفاءة، مما يجعله مثاليًا للمكونات المعرضة لدورات حرارية شديدة.
•المقاومة الكيميائية الاستثنائية:إن التفاعل المنخفض لـ SiC مع غازات الحفر، بما في ذلك الكلور والمواد الكيميائية القائمة على الفلور، يضمن عمرًا طويلًا للمكونات.
•المقاومة القابلة للتعديل: CVD السائبة SiCيمكن تخصيص المقاومة ضمن نطاق 10⁻²–10⁴ Ω-cm، مما يجعلها قابلة للتكيف مع احتياجات الحفر وتصنيع أشباه الموصلات المحددة.
•معامل التمدد الحراري:بفضل معامل التمدد الحراري الذي يبلغ 4.8 × 10⁻⁶/درجة مئوية (25-1000 درجة مئوية)، يقاوم الجزء الأكبر من مادة SiC CVD الصدمات الحرارية، مما يحافظ على ثبات الأبعاد حتى أثناء دورات التسخين والتبريد السريعة.
•المتانة في البلازما:إن التعرض للبلازما والغازات التفاعلية أمر لا مفر منه في عمليات أشباه الموصلات، ولكنالأمراض القلبية الوعائية السائبة كربيد السيليكونيوفر مقاومة فائقة للتآكل والتدهور، مما يقلل من تكرار الاستبدال وتكاليف الصيانة الشاملة.
المواصفات الفنية:
•القطر:أكبر من 305 ملم
•المقاومة:قابل للتعديل في حدود 10⁻²–10⁴ أوم-سم
•كثافة:3.2 جم/سم3
•الموصلية الحرارية:300 واط/م·ك
•معامل التمدد الحراري:4.8 × 10⁻⁶/درجة مئوية (25-1000 درجة مئوية)
التخصيص والمرونة:فيSemicera أشباه الموصلات، نحن ندرك أن كل تطبيق لأشباه الموصلات قد يتطلب مواصفات مختلفة. ولهذا السبب فإن مكونات SiC ذات الحجم الكبير CVD قابلة للتخصيص بالكامل، مع مقاومة قابلة للتعديل وأبعاد مخصصة لتناسب احتياجات المعدات الخاصة بك. سواء كنت تعمل على تحسين أنظمة الحفر بالبلازما لديك أو تبحث عن مكونات متينة في RTP أو عمليات النشر، فإن منتجنا من SiC CVD يقدم أداءً لا مثيل له.
