مقدمة من الناقل رقاقة
فئة المنتج
◀نظام حامل الرقاقة لعملية PECVD وTALOX
• قارب الجرافيت PECVD وTALOX (M4~M12)
• قارب SM عمودي (M4، M6)
• جزء من الجرافيت المزروع والدش (M4~M6)
• صينية C/C وطلاء سيراميك
• صينية RIE معدنية وطلاء سيراميك
• فراغ الختم: يا الدائري وحلقة مربعة
◀عملية نقل التركيب والحفر الرطب
• LSC H-Carrier أو الكاسيت (M4~M12)
• LSC V-Carrier أو الكاسيت (M4~M12)
• حامل ASC أو الكاسيت (M4، M6)
• مع حامل وصندوق تخزين (M4~M12)
• سلسلة عجلة النقل (الأسطوانة).
◀حامل الخلايا الشمسية وحامل المعادن
• حامل TRC أو الكاسيت (M4~M12)
• مجلة (مع الحزام)
قارب الجرافيت (النوع H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
قارب الجرافيت (النوع H)
21P6-240CT WF M4~M12)
قارب الجرافيت (النوع H)
23P7-308CT (ث/ف M4 ~ M12)
قارب الجرافيت (النوع H)
22P/7-294TP (ث/و M4 ~ M12)
قارب الجرافيت (النوع H)
W182-22P7-294CT (ث/و M12)
W182-21P6-240CT (ث/و M12)
حامل WF وصندوق التخزين (~M12)
صينية C/C أو حامل (M4~M10)
صينية C/C أو حامل (M4~M10)
القارب العمودي (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
حامل ASC (~M6)
حاملة TRC (~M12)
حاملة TRC (~M12)
قارب جرافيت (M12)
نظام حامل الرقاقة لعملية PECVD
◀ قارب جرافيت (مصمم CT) عملية M10/M12
• مفهوم التصميم الخاص
◀ قارب جرافيت (مصمم بتقنية CT) عملية M4/M6
◀ أجزاء ملحقات القارب
◀ قارب عمودي - رقاقة 161.7 ملم
◀ قارب عمودي - رقاقة 166 ملم
◀ قارب عمودي - 161.7 ملم، ويفر 166 ملم
حامل الخلايا الشمسية وحامل TRC المعدني
النوع: أتمتة
حجم الويفر : ① 156 × 156 مم ② 156.75 × 156.75 مم
③161.7x161.7 ملم ④166x166 ملم
⑤ 180×180 مم ⑥ 210×210 مم
الاستخدام: حمل (كاسيت)
السعة: 100 ورقة
الملعب: 4.76 ملم / 5.953 ملم / 6.35 ملم
الأبعاد: حوالي 559 × 220 × 220 ملم
حوالي 712 × 260 × 260 ملم
ميزة: الغلاف الجوي
المادة: لهب، شريط جانبي-ألومنيوم (أنودة)
لوحة جانبية بوم (مضادة للكهرباء الساكنة)
غطاء الشريط السفلي-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC- حامل معدني (خط المستخدم)
TRC- حامل معدني (خط المستخدم)
TRC- حامل معدني (خط المستخدم)
لوحة الدش والزرع، الناقل
