تعد صواني كربيد السيليكون، والمعروفة أيضًا باسم صواني SiC، من المواد المهمة المستخدمة لحمل رقائق السيليكون في عملية تصنيع أشباه الموصلات. يتمتع كربيد السيليكون بخصائص ممتازة مثل الصلابة العالية، ومقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، لذلك فهو يحل محل المنتجات التجارية تدريجيًا.
اقرأ المزيد