الموكفدتعد هذه الطريقة واحدة من أكثر العمليات استقرارًا المستخدمة حاليًا في الصناعة لإنتاج أغشية رقيقة بلورية أحادية عالية الجودة، مثل طبقات InGaN أحادية الطور، ومواد III-N، وأغشية أشباه الموصلات ذات هياكل بئر كمومية متعددة، وهي ذات أهمية كبيرة في تصنيع أشباه الموصلات والأجهزة الإلكترونية البصرية.
الطلاء كربيد MOCVDعبارة عن حامل بسكويت الويفر المتخصص المطلي بكربيد السيليكون (SiC).الفوقي النمو في عملية ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD).
يتمتع طلاء SiC بمقاومة كيميائية ممتازة وثبات حراري، مما يجعله خيارًا مثاليًا لمستقبلات MOCVD المستخدمة في عمليات النمو الفوقي الصعبة.
أحد المكونات الرئيسية لعملية MOCVD هو المُستقبِل، وهو عنصر أساسي لضمان توحيد وجودة الأغشية الرقيقة المنتجة.
ما هو المتقبل؟ المستقبِل هو مكون متخصص يستخدم في عملية MOCVD لدعم وتسخين الركيزة التي يتم ترسيب الفيلم الرقيق عليها. لديها وظائف متعددة، بما في ذلك امتصاص الطاقة الكهرومغناطيسية، وتحويلها إلى حرارة، وتوزيع الحرارة بالتساوي على الركيزة. يعد هذا التسخين الموحد ضروريًا لنمو الأغشية الرقيقة الموحدة ذات السماكة والتركيب الدقيقين.
أنواع القابلات:
1. مستقبلات الجرافيت: غالبًا ما تكون مستقبلات الجرافيت مغلفة بطبقة واقية مثلكربيد السيليكون (SiC)، والمعروفة بالتوصيل الحراري العالي والاستقرار. الطلاء سيكيوفر سطحًا صلبًا وقائيًا يقاوم التآكل والتدهور في درجات الحرارة المرتفعة.
2. مستقبلات كربيد السيليكون (SiC): هذه المستقبلات مصنوعة بالكامل من SiC وتتمتع بثبات حراري ممتاز ومقاومة للتآكل. تعتبر مستقبلات SiC مناسبة بشكل خاص للعمليات ذات درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل.
كيف تعمل القابلات في MOCVD:
في عملية MOCVD، يتم إدخال السلائف إلى غرفة التفاعل حيث تتحلل وتتفاعل لتشكل طبقة رقيقة على الركيزة. يلعب المستقبِل دورًا حيويًا من خلال ضمان تسخين الركيزة بالتساوي، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق خصائص فيلم متسقة عبر سطح الركيزة بأكمله. يتم اختيار المواد وتصميم المستقبِل بعناية لتلبية المتطلبات المحددة لعملية الترسيب، مثل نطاق درجة الحرارة والتوافق الكيميائي.
فوائد استخدام مستقبلات عالية الجودة:
• تحسين جودة الفيلم: من خلال توفير توزيع موحد للحرارة، يساعد المستشعر على تحقيق سماكة وتركيبة أفلام متسقة، وهو أمر بالغ الأهمية لأداء أجهزة أشباه الموصلات.
• تحسين كفاءة العملية: تزيد المستشعرات عالية الجودة من الكفاءة الإجمالية لعملية MOCVD عن طريق تقليل احتمالية حدوث العيوب وزيادة إنتاجية الأفلام القابلة للاستخدام.
• العمر الافتراضي والموثوقية: تضمن المستشعرات المصنوعة من مواد متينة مثل SiC الموثوقية على المدى الطويل وتقليل تكاليف الصيانة.
يعد المستقبِل جزءًا لا يتجزأ من عملية MOCVD ويؤثر بشكل مباشر على جودة وكفاءة ترسيب الأغشية الرقيقة. لمزيد من المعلومات حول الأحجام المتوفرة وأسعار وحساسات MOCVD، يرجى عدم التردد في الاتصال بنا. سيكون مهندسونا سعداء بتقديم النصح لك بشأن المواد المناسبة والإجابة على جميع أسئلتك.
الهاتف: +86-13373889683
واتساب: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
وقت النشر: 12 أغسطس 2024