كيف ننتج خطوات المعالجة لركائز SiC هي كما يلي:
1. التوجيه البلوري: استخدام حيود الأشعة السينية لتوجيه السبيكة البلورية.عندما يتم توجيه شعاع الأشعة السينية نحو الوجه البلوري المطلوب، فإن زاوية الشعاع المنحرف تحدد اتجاه البلورة.
2. طحن القطر الخارجي: غالبًا ما تتجاوز البلورات المفردة المزروعة في بوتقات الجرافيت الأقطار القياسية.طحن القطر الخارجي يقللها إلى الأحجام القياسية.
طحن الوجه النهائي: تحتوي الركائز 4H-SiC مقاس 4 بوصة عادةً على حافتين لتحديد الموضع، الأولية والثانوية.طحن الوجه النهائي يفتح حواف تحديد المواقع هذه.
3. نشر الأسلاك: يعتبر نشر الأسلاك خطوة حاسمة في معالجة ركائز 4H-SiC.تؤثر الشقوق والأضرار تحت السطح الناتجة أثناء نشر الأسلاك سلبًا على العمليات اللاحقة، مما يؤدي إلى إطالة وقت المعالجة والتسبب في خسارة المواد.الطريقة الأكثر شيوعًا هي النشر متعدد الأسلاك باستخدام مادة كاشطة الماس.يتم استخدام الحركة الترددية للأسلاك المعدنية المرتبطة بمواد كاشطة الماس لقطع سبيكة 4H-SiC.
4. الشطب: لمنع تقطيع الحواف وتقليل خسائر المواد الاستهلاكية أثناء العمليات اللاحقة، يتم شطب الحواف الحادة للرقائق المنشورة سلكيًا إلى أشكال محددة.
5. التخفيف: يؤدي نشر الأسلاك إلى ترك العديد من الخدوش والأضرار تحت السطح.ويتم التخفيف باستخدام عجلات الماس لإزالة هذه العيوب قدر الإمكان.
6. الطحن: تتضمن هذه العملية الطحن الخشن والطحن الناعم باستخدام كربيد البورون الأصغر حجمًا أو المواد الكاشطة الماسية لإزالة الأضرار المتبقية والأضرار الجديدة التي تحدث أثناء التخفيف.
7. التلميع: تتضمن الخطوات النهائية التلميع الخشن والتلميع الناعم باستخدام مواد كاشطة من الألومينا أو أكسيد السيليكون.يقوم سائل التلميع بتنعيم السطح، ثم تتم إزالته ميكانيكيًا بواسطة المواد الكاشطة.تضمن هذه الخطوة سطحًا أملسًا وغير تالف.
8. التنظيف: إزالة الجزيئات والمعادن وأفلام الأكسيد والمخلفات العضوية والملوثات الأخرى المتبقية من خطوات المعالجة.
وقت النشر: 15-مايو-2024