ما هو الأمراض القلبية الوعائية كربيد
ترسيب البخار الكيميائي (CVD) هو عملية ترسيب فراغي تستخدم لإنتاج مواد صلبة عالية النقاء. تُستخدم هذه العملية غالبًا في مجال تصنيع أشباه الموصلات لتشكيل أغشية رقيقة على سطح الرقاقات. في عملية تحضير SiC بواسطة CVD، يتم تعريض الركيزة لواحد أو أكثر من السلائف المتطايرة، والتي تتفاعل كيميائيًا على سطح الركيزة لترسيب رواسب SiC المطلوبة. من بين الطرق العديدة لإعداد مواد SiC، تتميز المنتجات المحضرة عن طريق ترسيب البخار الكيميائي بدرجة عالية من التجانس والنقاء، وتتمتع الطريقة بإمكانية تحكم قوية في العملية.
تعتبر مواد CVD SiC مناسبة جدًا للاستخدام في صناعة أشباه الموصلات التي تتطلب مواد عالية الأداء بسبب مزيجها الفريد من الخصائص الحرارية والكهربائية والكيميائية الممتازة. تُستخدم مكونات CVD SiC على نطاق واسع في معدات الحفر ومعدات MOCVD ومعدات Si الفوقي ومعدات SiC الفوقي ومعدات المعالجة الحرارية السريعة وغيرها من المجالات.
بشكل عام، الجزء الأكبر من السوق لمكونات CVD SiC هو حفر مكونات المعدات. نظرًا لانخفاض تفاعله وتوصيله للغازات المحتوية على الكلور والفلور، فإن كربيد السيليكون CVD هو مادة مثالية لمكونات مثل حلقات التركيز في معدات الحفر بالبلازما.
تشتمل مكونات كربيد السيليكون CVD في معدات الحفر على حلقات التركيز، ورؤوس دش الغاز، والصواني، وحلقات الحافة، وما إلى ذلك. وبأخذ حلقة التركيز كمثال، تعد حلقة التركيز مكونًا مهمًا يتم وضعه خارج الرقاقة وعلى اتصال مباشر بالرقاقة. من خلال تطبيق الجهد على الحلقة لتركيز البلازما التي تمر عبر الحلقة، يتم تركيز البلازما على الرقاقة لتحسين تجانس المعالجة.
حلقات التركيز التقليدية مصنوعة من السيليكون أو الكوارتز. مع تقدم تصغير الدوائر المتكاملة، يتزايد الطلب على عمليات الحفر وأهميتها في تصنيع الدوائر المتكاملة، وتستمر قوة وطاقة حفر البلازما في الزيادة. على وجه الخصوص، طاقة البلازما المطلوبة في معدات الحفر بالبلازما المقترنة بالسعة (CCP) أعلى، وبالتالي فإن معدل استخدام حلقات التركيز المصنوعة من مواد كربيد السيليكون آخذ في الازدياد. يظهر الرسم التخطيطي لحلقة التركيز من كربيد السيليكون CVD أدناه:
وقت النشر: 20 يونيو 2024