تطبيق سيراميك كربيد السيليكون في مجال أشباه الموصلات

أشباه الموصلات:

تتبع صناعة أشباه الموصلات القانون الصناعي المتمثل في "جيل واحد من التكنولوجيا، وجيل واحد من العمليات، وجيل واحد من المعدات"، وتعتمد ترقية وتكرار معدات أشباه الموصلات إلى حد كبير على التقدم التكنولوجي في الأجزاء الدقيقة. من بينها، الأجزاء الخزفية الدقيقة هي أكثر مواد الأجزاء الدقيقة لأشباه الموصلات تمثيلاً، والتي لها تطبيقات مهمة في سلسلة من روابط تصنيع أشباه الموصلات الرئيسية مثل ترسيب البخار الكيميائي، وترسيب البخار الفيزيائي، وزرع الأيونات، والحفر. مثل المحامل، وقضبان التوجيه، والبطانات، والظرف الكهروستاتيكي، وأذرع المناولة الميكانيكية، وما إلى ذلك. خاصة داخل تجويف المعدات، فهي تلعب دور الدعم والحماية والتحويل.

منذ عام 2023، أصدرت هولندا واليابان أيضًا على التوالي لوائح جديدة أو مراسيم التجارة الخارجية بشأن الرقابة، وأضافت لوائح ترخيص التصدير لمعدات أشباه الموصلات بما في ذلك آلات الطباعة الحجرية، وظهر تدريجيًا اتجاه أشباه الموصلات المناهض للعولمة. أصبحت أهمية السيطرة المستقلة على سلسلة التوريد بارزة بشكل متزايد. في مواجهة الطلب على توطين أجزاء معدات أشباه الموصلات، تعمل الشركات المحلية بنشاط على تعزيز التنمية الصناعية. لقد أدركت شركة Zhongci Electronics توطين الأجزاء الدقيقة عالية التقنية مثل ألواح التسخين والظرف الكهروستاتيكية، مما أدى إلى حل مشكلة "عنق الزجاجة" في صناعة معدات أشباه الموصلات المحلية؛ Dezhi New Materials، المورد المحلي الرائد لقواعد الجرافيت المطلية بـ SiC وحلقات النقش من SiC، أكملت بنجاح تمويلًا بقيمة 100 مليون يوان، وما إلى ذلك….
ركائز السيراميك نيتريد السيليكون عالية الموصلية:

تُستخدم ركائز سيراميك نيتريد السيليكون بشكل أساسي في وحدات الطاقة وأجهزة أشباه الموصلات ومحولات المركبات الكهربائية النقية (EVs) والمركبات الكهربائية الهجينة (HEVs)، ولها إمكانات سوقية ضخمة وآفاق تطبيقية.

في الوقت الحاضر، تتطلب المواد الأساسية الخزفية ذات الموصلية الحرارية العالية من نيتريد السيليكون للتطبيقات التجارية الموصلية الحرارية ≥85 W/(m·K)، وقوة الانحناء ≥650MPa، وصلابة الكسر 5~7MPa·m1/2. الشركات التي لديها حقًا القدرة على إنتاج ركائز سيراميك نيتريد السيليكون عالية التوصيل الحراري بكميات كبيرة هي بشكل أساسي مجموعة توشيبا، وهيتاشي ميتالز، واليابان للكيماويات الكهربائية، واليابان ماروا، واليابان للسيراميك الناعم.

كما حققت الأبحاث المحلية على المواد الأساسية الخزفية من نيتريد السيليكون بعض التقدم. تبلغ الموصلية الحرارية للركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون المحضرة من خلال عملية صب الشريط في فرع بكين لشركة Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. 100 واط/(م·ك)؛ نجح معهد بكين سينوما لأبحاث الكريستال الاصطناعي المحدودة في إعداد ركيزة سيراميك نيتريد السيليكون بقوة انحناء تبلغ 700-800 ميجا باسكال، وصلابة الكسر ≥8MPa·m1/2، والتوصيل الحراري ≥80W/(m·K). عن طريق تحسين طريقة وعملية التلبيد.