يتم التعرف على أجزاء كربيد السيليكون CVD الصلبة كخيار أساسي لحلقات وقواعد RTP/EPI وأجزاء تجويف البلازما التي تعمل في درجات حرارة التشغيل العالية المطلوبة للنظام (> 1500 درجة مئوية)، ومتطلبات النقاء عالية بشكل خاص (> 99.9995٪) و يكون الأداء جيدًا بشكل خاص عندما تكون المقاومة للمواد الكيميائية عالية بشكل خاص. ولا تحتوي هذه المواد على أطوار ثانوية عند حافة الحبوب، لذلك تنتج مكوناتها جزيئات أقل من المواد الأخرى. بالإضافة إلى ذلك، يمكن تنظيف هذه المكونات باستخدام HF/HCl الساخن مع تحلل قليل، مما يؤدي إلى تقليل الجزيئات وعمر خدمة أطول.
