مقدمة لطلاء كربيد السيليكون
إن طلاء كربيد السيليكون (SiC) الخاص بترسيب البخار الكيميائي (CVD) عبارة عن طبقة متينة للغاية ومقاومة للتآكل، ومثالية للبيئات التي تتطلب درجة عالية من التآكل والمقاومة الحرارية.طلاء كربيد السيليكونيتم تطبيقه في طبقات رقيقة على ركائز مختلفة من خلال عملية CVD، مما يوفر خصائص أداء فائقة.
الميزات الرئيسية
● -نقاء استثنائي: يتميز بتركيبة فائقة النقاء من99.99995%، ملكناطلاء سيكيقلل من مخاطر التلوث في عمليات أشباه الموصلات الحساسة.
● -مقاومة متفوقة: يُظهر مقاومة ممتازة لكل من التآكل والتآكل، مما يجعله مثاليًا لتحدي إعدادات المواد الكيميائية والبلازما.
● - الموصلية الحرارية العالية: يضمن أداءً موثوقًا به في درجات الحرارة القصوى نظرًا لخصائصه الحرارية المتميزة.
● -ثبات الأبعاد: يحافظ على السلامة الهيكلية عبر نطاق واسع من درجات الحرارة، وذلك بفضل معامل التمدد الحراري المنخفض.
● -صلابة معززة: مع تصنيف صلابة40 جيجا، طلاء SiC الخاص بنا يتحمل الصدمات والتآكل الكبير.
● - سطح أملس: يوفر لمسة نهائية تشبه المرآة، مما يقلل من توليد الجسيمات ويعزز الكفاءة التشغيلية.
التطبيقات
نصفية طلاءات كربيد السيليكونيتم استخدامها في مراحل مختلفة من تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك:
● -تصنيع رقاقة LED
● -إنتاج البولي سيليكون
● -نمو كريستال أشباه الموصلات
● -السيليكون و SiC Epitaxy
● -الأكسدة الحرارية والانتشار (TO&D)
نحن نوفر مكونات مطلية بـ SiC مصنوعة من الجرافيت المتوازن عالي القوة، والكربون المقوى بألياف الكربون وكربيد السيليكون المعاد بلورته 4N، والمصممة خصيصًا للمفاعلات ذات الطبقة المميعة،محولات STC-TCS، وعاكسات وحدة CZ، وقارب رقاقة SiC، ومجداف رقاقة SiC، وأنبوب رقاقة SiC، وحاملات الرقاقة المستخدمة في عمليات PECVD، وطبقة السيليكون، وMOCVD.
فوائد
● -عمر ممتد: يقلل بشكل كبير من وقت توقف المعدات وتكاليف الصيانة، مما يعزز كفاءة الإنتاج الإجمالية.
● -تحسين الجودة: يحقق الأسطح عالية النقاء اللازمة لمعالجة أشباه الموصلات، وبالتالي تعزيز جودة المنتج.
● -زيادة الكفاءة: يعمل على تحسين العمليات الحرارية وعمليات الأمراض القلبية الوعائية، مما يؤدي إلى تقليل أوقات الدورات وزيادة الإنتاجية.
المواصفات الفنية
● -الهيكل: المرحلة FCC β متعددة البلورات، موجهة بشكل رئيسي (111).
● -الكثافة: 3.21 جم/سم3
● -الصلابة: 2500 صلابة فيكس (حمولة 500 جم)
● -صلابة الكسر: 3.0 ميجاباسكال·دقيقة1/2
● -معامل التمدد الحراري (100-600 درجة مئوية): 4.3 × 10-6k-1
● -معامل المرونة(1300 درجة مئوية):435 المعدل التراكمي
● -سمك الفيلم النموذجي:100 ميكرون
● -خشونة السطح:2-10 ميكرومتر
بيانات النقاء (يتم قياسها بواسطة التحليل الطيفي الكتلي لتفريغ الوهج)
| عنصر | جزء في المليون | عنصر | جزء في المليون |
| Li | <0.001 | Cu | <0.01 |
| Be | <0.001 | Zn | <0.05 |
| آل | <0.04 | Ga | <0.01 |
| P | <0.01 | Ge | <0.05 |
| S | <0.04 | As | <0.005 |
| K | <0.05 | In | <0.01 |
| Ca | <0.05 | Sn | <0.01 |
| Ti | <0.005 | Sb | <0.01 |
| V | <0.001 | W | <0.05 |
| Cr | <0.05 | Te | <0.01 |
| Mn | <0.005 | Pb | <0.01 |
| Fe | <0.05 | Bi | <0.05 |
| Ni | <0.01 |
|
