تم تصميم ركائز الرقاقة Semicera 3C-SiC لتوفير منصة قوية للجيل القادم من إلكترونيات الطاقة والأجهزة عالية التردد. مع الخصائص الحرارية والكهربائية الفائقة، تم تصميم هذه الركائز لتلبية المتطلبات الصعبة للتكنولوجيا الحديثة.
يوفر هيكل 3C-SiC (كربيد السيليكون المكعب) لركائز رقاقة Semicera مزايا فريدة، بما في ذلك الموصلية الحرارية العالية ومعامل التمدد الحراري المنخفض مقارنة بمواد أشباه الموصلات الأخرى. وهذا يجعلها اختيارًا ممتازًا للأجهزة التي تعمل تحت درجات الحرارة القصوى وظروف الطاقة العالية.
بفضل جهد الانهيار الكهربائي العالي والثبات الكيميائي الفائق، تضمن ركائز الويفر Semicera 3C-SiC أداء وموثوقية طويلة الأمد. تعتبر هذه الخصائص ضرورية لتطبيقات مثل الرادار عالي التردد، وإضاءة الحالة الصلبة، ومحولات الطاقة، حيث تكون الكفاءة والمتانة أمرًا بالغ الأهمية.
ينعكس التزام Semicera بالجودة في عملية التصنيع الدقيقة لركائز الرقاقة 3C-SiC، مما يضمن التوحيد والاتساق عبر كل دفعة. تساهم هذه الدقة في الأداء العام وطول عمر الأجهزة الإلكترونية المبنية عليها.
من خلال اختيار ركائز الرقاقة Semicera 3C-SiC، يتمكن المصنعون من الوصول إلى مادة متطورة تتيح تطوير مكونات إلكترونية أصغر حجمًا وأسرع وأكثر كفاءة. تواصل Semicera دعم الابتكار التكنولوجي من خلال توفير حلول موثوقة تلبي المتطلبات المتطورة لصناعة أشباه الموصلات.
| أغراض | إنتاج | بحث | دمية |
| معلمات الكريستال | |||
| متعدد الأنواع | 4H | ||
| خطأ في اتجاه السطح | <11-20 >4±0.15° | ||
| المعلمات الكهربائية | |||
| منشط | ن نوع النيتروجين | ||
| المقاومة | 0.015-0.025 أوم·سم | ||
| المعلمات الميكانيكية | |||
| القطر | 150.0 ± 0.2 مم | ||
| سماكة | 350±25 ميكرومتر | ||
| التوجه المسطح الأساسي | [1-100]±5° | ||
| الطول المسطح الأساسي | 47.5±1.5 ملم | ||
| شقة ثانوية | لا أحد | ||
| تي تي في | ≥5 ميكرومتر | ≥10 ميكرومتر | ≥15 ميكرومتر |
| القيمة الدائمة | ≥3 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) | ≥5 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) | ≥10 ميكرومتر (5 مم * 5 مم) |
| قَوس | -15 ميكرومتر ~ 15 ميكرومتر | -35 ميكرومتر ~ 35 ميكرومتر | -45 ميكرومتر ~ 45 ميكرومتر |
| الاعوجاج | ≥35 ميكرومتر | ≥45 ميكرومتر | ≥55 ميكرومتر |
| خشونة الجبهة (Si-face) (AFM) | Ra<0.2nm (5μm*5μm) | ||
| بناء | |||
| كثافة الأنابيب الدقيقة | <1 لكل سم/سم2 | <10 لكل سم/سم2 | <15 لكل وحدة/سم2 |
| الشوائب المعدنية | ≥5E10 ذرة/سم2 | NA | |
| اضطراب الشخصية الحدية | ≥1500 قطعة/سم2 | ≥3000 لكل سم/سم2 | NA |
| TSD | ≥500 لكل سم/سم2 | ≥1000 لكل سم/سم2 | NA |
| الجودة الأمامية | |||
| أمام | Si | ||
| الانتهاء من السطح | سي الوجه CMP | ||
| الجسيمات | ≥60ea/رقاقة (الحجم≥0.3μm) | NA | |
| الخدوش | ≥5ea/مم. الطول التراكمي ≥ القطر | الطول التراكمي ≥2*القطر | NA |
| قشر البرتقال / الحفر / البقع / التشققات / الشقوق / التلوث | لا أحد | NA | |
| رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/ألواح سداسية | لا أحد | ||
| مناطق متعددة الأنواع | لا أحد | المساحة التراكمية ≥20% | المساحة التراكمية ≥30% |
| علامات الليزر الأمامية | لا أحد | ||
| جودة الظهر | |||
| الانتهاء من الخلف | C-الوجه CMP | ||
| الخدوش | ≥5ea/mm، الطول التراكمي ≥2*القطر | NA | |
| عيوب الظهر (رقائق الحواف/المسافات البادئة) | لا أحد | ||
| خشونة الظهر | Ra<0.2nm (5μm*5μm) | ||
| وسم بالليزر على الظهر | 1 ملم (من الحافة العلوية) | ||
| حافة | |||
| حافة | الشطب | ||
| التعبئة والتغليف | |||
| التعبئة والتغليف | Epi جاهز مع تعبئة مفرغة من الهواء تغليف كاسيت متعدد الرقاقات | ||
| *ملاحظات: "NA" تعني عدم وجود طلب، وقد تشير العناصر غير المذكورة إلى SEMI-STD. | |||
