تم تصميم ركائز Semicera's 2~6 بوصة 4° خارج الزاوية P-type 4H-SiC لتلبية الاحتياجات المتزايدة لمصنعي أجهزة الطاقة والترددات اللاسلكية عالية الأداء. يضمن الاتجاه خارج الزاوية بمقدار 4 درجات نموًا فوقيًا محسنًا، مما يجعل هذه الركيزة أساسًا مثاليًا لمجموعة من أجهزة أشباه الموصلات، بما في ذلك MOSFETs وIGBTs والثنائيات.
تتميز الركيزة P-type 4H-SiC بزاوية 2 ~ 6 بوصة و4 درجات بخصائص مادية ممتازة، بما في ذلك التوصيل الحراري العالي والأداء الكهربائي الممتاز والثبات الميكانيكي المتميز. يساعد الاتجاه خارج الزاوية على تقليل كثافة الأنابيب الدقيقة ويعزز الطبقات الفوقية الأكثر سلاسة، وهو أمر بالغ الأهمية لتحسين أداء وموثوقية جهاز أشباه الموصلات النهائي.
تتوفر ركائز Semicera مقاس 2 إلى 6 بوصات بزاوية 4 درجات من النوع P 4H-SiC بأقطار متنوعة، تتراوح من 2 بوصة إلى 6 بوصات، لتلبية متطلبات التصنيع المختلفة. تم تصميم ركائزنا بدقة لتوفير مستويات موحدة وخصائص سطحية عالية الجودة، مما يضمن أن كل رقاقة تلبي المواصفات الصارمة المطلوبة للتطبيقات الإلكترونية المتقدمة.
يضمن التزام Semicera بالابتكار والجودة أن توفر ركائز P-type 4H-SiC مقاس 2 ~ 6 بوصة 4 درجات خارج الزاوية أداءً ثابتًا في مجموعة واسعة من التطبيقات بدءًا من إلكترونيات الطاقة وحتى الأجهزة عالية التردد. يوفر هذا المنتج حلاً موثوقًا للجيل القادم من أشباه الموصلات الموفرة للطاقة وعالية الأداء، ويدعم التقدم التكنولوجي في صناعات مثل السيارات والاتصالات والطاقة المتجددة.
المعايير المتعلقة بالحجم
مقاس | 2 بوصة | 4 بوصة |
القطر | 50.8 ملم ± 0.38 ملم | 100.0 ملم+0/-0.5 ملم |
التوجيه السطحي | 4 درجات باتجاه<11-20>±0.5° | 4 درجات باتجاه<11-20>±0.5° |
الطول المسطح الأساسي | 16.0 ملم ± 1.5 ملم | 32.5 ملم ± 2 ملم |
الطول المسطح الثانوي | 8.0 ملم ± 1.5 ملم | 18.0 ملم ± 2 ملم |
التوجه المسطح الأساسي | الموازي <11-20> ± 5.0 درجة | الموازي<11-20>±5.0c |
التوجه المسطح الثانوي | 90 درجة مئوية من الابتدائي ± 5.0 درجة، وجه السيليكون لأعلى | 90 درجة مئوية من الابتدائي ± 5.0 درجة، وجه السيليكون لأعلى |
الانتهاء من السطح | الوجه C: طلاء بصري، الوجه Si: CMP | الوجه C: طلاء بصري، الوجه Si: CMP |
حافة الويفر | الميلا | الميلا |
خشونة السطح | Si-Face Ra <0.2 نانومتر | سي-فيس را <0.2 نانومتر |
سماكة | 350.0±25.0um | 350.0±25.0um |
متعدد الأنواع | 4H | 4H |
المنشطات | نوع p | نوع p |
المعايير المتعلقة بالحجم
مقاس | 6 بوصة |
القطر | 150.0 ملم+0/-0.2 ملم |
التوجه السطحي | 4 درجات باتجاه<11-20>±0.5° |
الطول المسطح الأساسي | 47.5 ملم ± 1.5 ملم |
الطول المسطح الثانوي | لا أحد |
التوجه المسطح الأساسي | بالتوازي مع <11-20> ±5.0° |
التوجه المسطح الثانوي | 90 درجة مئوية من الابتدائي ± 5.0 درجة، وجه السيليكون لأعلى |
الانتهاء من السطح | الوجه C: طلاء بصري، الوجه Si: CMP |
حافة الويفر | الميلا |
خشونة السطح | Si-Face Ra <0.2 نانومتر |
سماكة | 350.0 ± 25.0 ميكرومتر |
متعدد الأنواع | 4H |
المنشطات | نوع p |