لوحة SiC هي نوع من سيراميك الجسم كثيف المسامية 0، والذي يعتمد على SiC ومتكلس عند درجة حرارة 2250 درجة مئوية.محتوى SiC أكثر من 99.6%، وقوة الانحناء أكثر من 410 ميجا باسكال والتوصيل الحراري 140 واط / MK، وهي المادة الخزفية الوحيدة المقاومة لـ HF وH2SO4 وغيرها من التآكل الحمضي القوي.
مزايا سيراميك كربيد السيليكون:
1، معامل التمدد الحراري صغير، قريب جدا من السيليكون؛
2، مقاومة التآكل ممتازة، صلابة في المرتبة الثانية بعد الماس؛
3، الموصلية الحرارية الممتازة، مقاومة درجات الحرارة العالية وتبديد الحرارة بسرعة؛
![تشاك كربيد السيليكون3](http://www.semi-cera.com/uploads/Silicon-carbide-chuck3.png)
المعايير الفنية
![الصورة1](http://www.semi-cera.com/uploads/15a6ba392.png)